Fabrikant | Schmidt |
---|---|
Medium | Schone Lucht of stikstof |
Meetbereik | (±) 0 tot 1 / 2.5 / 5 / 10 / 20 m/s (uni- of bidirectional) |
Nauwkeurigheid | ± (3 % of measured value + [2 % of fmr; min. 0.05 m/s]) 2) |
Sonde lengte | 130, 200 en 300 mm |
Gedefinieerde overdrukken zorgen voor procesveiligheid in cleanrooms door overloop van de ene ruimte naar de andere. Deze overloop wordt meestal indirect bewaakt via druksensoren. Wanneer deuren of luchtsluizen worden geopend, daalt de druk vaak onder de gewenste bedrijfsgrens van de druksensor, wat aangeeft dat er geen overdruk is. In deze fase heeft de cleanroomoperator geen informatie (gemeten waarden) over de werkelijke overloop. Er kan echter een terugstroming aanwezig zijn en er kan daardoor verontreiniging optreden. Dit zal ondanks een correct uitgevoerde drukmeting niet worden opgemerkt. Dit kan worden verbeterd om de veiligheid van de cleanroom aanzienlijk te verhogen.
Deze flowsensoren meten niet alleen de werkelijke overloop van de ene ruimte naar de andere, maar detecteren ook de richting als een werkelijk signaal. Dit maakt een eenvoudige en consistente bewaking van alle schone gebieden mogelijk, inclusief lokale cleanrooms (cleanmachines). De extra gemeten flowwaarden maken het ook mogelijk om batches gemakkelijker vrij te geven.
De flowsensor kan zelfs zeer kleine luchtstromen meten tot 0,05 m/s. Dit komt overeen met een drukverschil van ca. 0,01 Pascal! De stromingsrichting kan eenvoudig worden geïntegreerd in de bestaande bewaking, bijvoorbeeld als schakelsignaal of analoog signaal.
De sensor heeft geen bewegende delen en is door zijn volledig metalen constructie GMP-conform, wat volledige reinigbaarheid garandeert. Bij gebruik in schone machines is de sensor ook geschikt voor laminaire stromingsbewaking, vanwege zijn eigenschappen en eenvoudige montage.
De ATEX-versie SS 23.400 (categorie 3G, Zone 2) is ideaal voor potentieel explosieve gebieden. En nog één ding: het verminderen van overdrukken, met name tijdens productiestilstanden, maakt besparingen op energiekosten mogelijk,